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真空炉出现於20世纪30年代前后。1927年美国製成电工材料真空退火炉。1953年真空自耗电弧炉在工业上已用於熔炼海绵鈦。50年代前后真空感应炉在工业上得到广泛应用。1960年美国研製成油淬真空炉。
真空炉一般由炉膛﹑电热装置﹑密封炉壳﹑真空系统﹑供电系统和控温系统等组成。密封炉壳用碳钢或不锈钢焊成﹐可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。为防止炉壳受热后变形和密封材料受热变质﹐炉壳一般用水冷或气冷降温。炉膛位於密封炉壳内。根据炉子用途﹐炉膛内部装有不同类型的加热元件﹐如电阻﹑感应线圈﹑电极和电子枪等。熔炼金属的真空炉炉膛内装有坩堝﹐有的还装有自动浇注装置和装卸料的机械手等。真空系统主要由真空泵﹑真空阀门和真空计等组成。
由于真空炉的种类和型式很多，因此维护和检修的项目各不相同，维修检查内容应根据炉子技术文件并可按实际需要分为每炉次、每日、每月，每半年和每一年进行的项目。
对有气镇功能的其空泵，应在每日开炉前检查并根据需耍开启30min，以排除泵油中的水分。
经常检查冷却水、压缩空气、液压系统的压力以及冷却水的流动情况。
真空炉炉膛内的压力能抽成低於大气压力的工业炉。真空炉用电加热﹐被加热的工件表面不氧化﹐不脱碳﹐变形小﹐机械性能好。用真空炉熔炼金属有利於除去杂质﹐成品针孔少﹐偏析小﹑质量好。真空炉适用於高质量﹑高纯度﹑难熔金属的熔炼和加热﹐例如用於钨﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐热合金钢的冶炼和磁性材料﹐电工材料﹑高强钢﹑不锈钢﹑工具钢﹑模具钢等的热处理。
对炉门的橡胶密封件和法兰面应在关护门之前进行检查，不能有砂粒和杂物，用千净绷布擦拭橡胶密封圈及法兰面，再均匀涂上真空脂后方可关闭炉门。
工件入炉处理前必须清洗。油淬处理后应将浸过油的料框、运载部件上的油全部清洗干净。
风冷电机一般为常用电机，在真空下不能启动一定要充气以后才能启动并应有电气联锁保护装置保护。
罗茨泵应在133Pa以上的真空度才能启动，也应有电气联锁保护装置保护。
真空炉
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