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成套超高真空系统及设备
成套超高真空设备广泛应用于材料科学、光学、物理学、空间科学实验、精密加工等领域的科研与生产中。
一、真空高压测试装置：
二、磁控溅射设备
三、磁控溅射膜厚生长设备：
技术参数：
真空室尺寸：按要求定制
漏率： ＜10-8pa.l/s
真空室材质：304/316L 可选
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